型号:Agilent VacIon Plus
特点:VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。
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StarCell® |
改进型二极离子泵 |
二级泵 |
氮气名义抽速 (*) (L/s) |
410 |
440 |
500 |
在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命(小时) |
80,000 |
50,000 |
50,000 |
最大启动压力 (mbar) |
≤ 1x10-2 |
≤ 1x10-3 |
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极限真空 |
低于 10-11 |
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抽气口法兰 |
8 英寸 CFF (NW 150) AISI 304 ESR |
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max烘烤温度 (℃) |
350 |
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重量,kg(磅) |
120 (264) |
(*)根据ISO/DIS3556-1-1992测试
抽速与进气口压力关系
外形图
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