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Agilent TwisTorr 84 FS 涡轮分子泵
型号：Agilent TwisTorr 84 FS
特点：Agilent TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动级技术能提高小分子气体（如氢气和氦气）压缩比，从而实现大抽气量和城耐受高前级压力，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。
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详细信息
AgilentTwisTorr84FS高真空涡轮分子泵采用TwisTorr拖动级技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr拖动级技术能提高小分子气体（如氢气和氦气）压缩比，从而实现大抽气量和城耐受高前级压力，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证稳定的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，最大程度减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr84FS泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性：
1.创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和小系统体积。
2.耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
3.安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，稳定的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，最大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
4.独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
5.铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。
典型涡轮泵应用：
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用
| 领域 | 详细说明 | 应用 |
| 质谱和分析仪器 |
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| 科研中的真空应用 |
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| 工业真空加工 |
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薄膜沉积：
设备加工：
一般工艺：
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| 纳米技术仪器 |
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技术规格
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抽速： CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸 配置：KF 40 配置： |
N2：67 L/s
N2：56 L/s
N2：49 L/s
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He：63 L/s/
He：46 L/s
He：38 L/s/
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H2：53 L/s
H2：40 L/s
H2：36 L/s
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Ar：66 L/s
Ar：57 L/s
Ar：44 L/s
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全转速气体流量（使用推荐的前级泵） 风冷 (35 °C) 水冷 (25 °C, 65 L/h) |
N2：100 sccm N2：100 sccm |
Ar：70 sccm Ar：70 sccm |
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| 压缩比： | N2：≥ 1 × 1011 | He：2 × 106 | H2：5 × 104 | Ar：> 1 × 1011 |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) | |||
| 入口法兰 |
CF 4.5 英寸（外径） CF 2.75 英寸（外径） |
ISO 63 KF40 |
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| 前级管道法兰 | KF 16 NW | |||
| 转速 | 81000 rpm（驱动频率 1350 Hz） | |||
| 启动时间 | < 2 分钟 | |||
| 推荐的前级泵 |
机械：DS 40M-DS 102 干式泵：Agilent IDP-3，SH 110 |
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| 工作位置 | 任意位置 | |||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 空气相对湿度 | 0 至 90%（非凝缩） | |||
| 烘烤温度 |
入口法兰最高温度 120 °C（CFF 法兰）
入口法兰最高温度 80 ℃（ISO 法兰）
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| 润滑油 |
永久性润滑
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| 冷却要求 |
风冷： 水冷： |
气流温度 +5 °C 至 +35 °C 冷却水温度：+15 °C 至 +25 °C 最低流速：65 L/h (0.30 GPM) 压力：2 至 4 bar（45 至 75 psi） |
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| 噪音压力级别（全速运行时距离 1 m 处） | 40 dB(A) * | |||
| 储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
| 最高海拔 | 3000 m | |||
| 认证 | CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求 | |||
| 重量 kg（磅）： |
泵 ISO 63：
2.5 (5.5) |
泵 CFF 4.5 英寸：
3.5 (7.7) |
泵 CFF 2.75 英寸：
3.34 (7.35) |
泵 KF 40：
2.37 (5.22) |
* 平均值 ± 4 dB(A) 标准差
