型号:Agilent TwisTorr 304 FS
特点:Agilent TwisTorr 304 FS 高真空涡轮分子泵采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。
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Agilent TwisTorr 304 FS 高真空涡轮分子泵采用 Twistorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证稳定的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,最大程度缩短系统停机时间,并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 304 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性:
典型涡轮泵应用
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用
领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
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薄膜沉积:
设备加工:
一般工艺:
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纳米技术仪器 |
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性能指标
技术规格
抽速: 使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160: |
N2:250 L/s
N2:250 L/s
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He:255 L/s
He:255 L/s
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H2:220 L/s
H2:220 L/s
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Ar:250 L/s
Ar:250 L/s
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全转速最大气载(使用推荐前级泵) 环境温度 (25 °C) 水温 (25 °C,50 L/h) |
N2:170 sccm N2:170 sccm |
Ar:110 sccm Ar:110 sccm |
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压缩比与前级压力关系: |
N2:> 1 × 1011 N2:> 10 mbar |
He:> 1 × 108 H2:> 10 mbar |
H2:1.5 × 106 H2:> 4 mbar |
Ar:> 1 × 1011 Ar:> 10 mbar |
极限真空*(使用推荐的前级泵) (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
抽气口法兰 |
8 英寸外径 CFF 2.6 英寸外径 CFF |
ISO 160 ISO 100 |
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前级管道法兰 | KF 16 NW(KF25 — 可选) | |||
转速 | 60000 rpm(1010 Hz 驱动频率) | |||
启动时间 | 小于 3 分钟 | |||
推荐的前级泵 |
机械:Agilent DS 102 干泵:Agilent SH 110 |
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工作位置 | 任意 | |||
操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空气相对湿度 | 0%–90%(无冷凝) | |||
烘烤温度 | 抽气口法兰最高温度 120 °C(CFF 法兰)抽气口法兰最高温度 80 °C(ISO 法兰) | |||
润滑油 | 永久性润滑 | |||
冷却要求 |
风扇冷却(环境温度 5–35 C) 水冷(如果环境高于 35 ℃,需强制水冷) |
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冷却水 |
最小流速: 50 L/h (0.89 GPM) |
温度: +15 ℃ 至 +30 ℃ |
压力: 3 至 5 bar(45 至 75 psi) |
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噪声声压级 | 在 1 米处,< 50 dB(A) | |||
储存温度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
最高海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅): |
泵 ISO 100:
5.5 (12.3) |
泵 CFF 6 英寸:
7.5 kg (16.5) |
泵 ISO 160:
5.7 kg (12.6) |
泵 CFF 8 英寸:
9.7 kg (20.9) |
地址: 杭州市拱墅区定海街284号 电话:13858108221 传真:0571-88055527 手机:13858108221
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