型号:Agilent TwisTorr 804 FS
特点:Agilent TwisTorr 804 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。
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Agilent TwisTorr 804 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体(如氢气和氦气)能提供高压缩比,从而实现大抽气量和高前级耐压,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证稳定的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,最大程度减少系统停机时间,并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 804 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性:
1.创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体的高压缩比实现了高性能和小系统占用空间。
2.高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。
3.安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动、低噪音和更好的轴承工作条件可延长泵的使用寿命,从而实现使用维护成本优化,最大程度减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。
4.独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。
5.“三维”泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到最大化,可在泵的操作条件下达到更好通量和压缩性能。
典型涡轮泵应用:
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用:
领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
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薄膜沉积:
设备加工:
一般工艺:
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纳米技术仪器 |
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性能指标 :
抽速: | ISO200K-F |
ISO250K-F
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CFF10 |
N2 He H2 Ar |
720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s |
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最高气体通量 (*) |
风冷 (空气温度 25 °C) |
水冷 (水温 15 °C/室温 25 °C) |
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N2 |
4.3 mbar L/s 255 SCCM |
6.1 mbar L/s 367 SCCM |
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He |
7.9 mbar L/s 467 SCCM |
10.4 mbar L/s 615 SCCM |
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Ar |
1.5 mbar L/s 89 SCCM |
3.3 mbar L/s 195 SCCM |
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(*) 前级泵 11.6 m3/h | |||
压缩比与前级耐压关系* | |||
N2 He H2 Ar |
> 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 |
10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar |
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(*) 前级耐压定义为,在水冷模式下,当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力 | |||
采用推荐前级泵时的极限真空 |
< 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) |
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抽气口法兰 |
ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K, ISO 250F,CFF 10 英寸 |
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前级管道法兰 | NW25 或 NW40 | ||
推荐的前级泵 |
DS302 IDP10 IDP15 |
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工作位置 | 任意 | ||
操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
润滑油 | 永久性脂润滑 | ||
冷却要求 | |||
风冷 | 空气温度由 +5 °C 至 35 °C | ||
水冷 |
水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h |
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噪音压力级别 (全速运行时距离 1 m 处) |
43 dB(A) |
地址: 杭州市拱墅区定海街284号 电话:13858108221 传真:0571-88055527 手机:13858108221
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