型号:Turbo-V 2K-G
特点:Turbo-V 2K-G 不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高氩气氛围下和温度极高的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和充氮气保护阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业出色的解决方案。
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Turbo-V 2K-G 不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以工作在高氩气氛围下和温度极高的环境中。此外,它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和充氮气保护阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业出色的解决方案。
特性:
1、首款为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
2、现有的高性能、紧凑的仪器
3、首个采用完全集成的方法很大程度提高系统效率和正常运行时间的涡轮分子泵
4、将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
5、通用电子器件接口并配有操作简单的控制软件模拟 I/O 信号以及 RS232/RS485 接口等标准配置
6、安捷伦 Profibus 接口(可选)
7、采用了安捷伦 A-PLUS 软件(原 T-plus)
涡轮分子泵应用范例:
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵,其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护,并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商,安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持,或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用:
领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
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薄膜沉积:
设备加工:
一般工艺:
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纳米技术仪器 |
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技术规格:
抽速: |
N2:1600 L/s
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压缩比: | N2:3 × 105 | |
极限真空*(使用推荐的前级泵) | < 1 × 10-8 mbar | |
入口法兰 | ISO 250F | |
前级管道法兰 | KF 40 NW | |
额定转速 | 33000 rpm | |
启动时间 | < 7 分钟 | |
推荐的前级泵 | > 40 m3/h | |
工作位置 | 任意位置 | |
操作环境温度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |
电源 输入电压 输入频率 |
100–240 Vac 50-60 Hz |
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通讯接口 |
模拟 I/O RS232/RS485 Profibus |
标准 标准 可选 |
尺寸 |
高度
重量 直径 |
335 mm(13.18 英寸)
335 mm(13.18 英寸) 35 kg(77 磅) |
* 根据德国工业标准 (DIN) 28 428。
Turbo-V 2K-G外形图
Turbo-V2K-G抽速与入口压力关系图
Turbo-V2K-G压缩比与前级压力关系图
地址: 杭州市拱墅区定海街284号 电话:13858108221 传真:0571-88055527 手机:13858108221
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